芯片凈化車間等級劃分標(biāo)準(zhǔn)
2024-10-12
標(biāo)簽:
凈化車間
,
芯片凈化車間建設(shè)
芯片凈化車間的等級劃分主要依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的ISO14644系列標(biāo)準(zhǔn),以及行業(yè)內(nèi)廣泛認(rèn)可的美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E。以下是按照ISO14644-1標(biāo)...
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