潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
試想一下,有一種商品,如果缺少它,整個社會都將被迫停頓,它有多重要?這種商品就是芯片。每個人的口袋里、家里都有芯片,芯片像鋼鐵支撐工業(yè)一樣支撐著我們的信息產(chǎn)業(yè)。芯片很難制造,因為它集成了人類科技的精華?,F(xiàn)在CPU中的晶體管存在納米級尺寸,小芯片與許多處理單元集成在一起,完全超乎你的想象。為什么制造這些微小部件要花費數(shù)百億美元?走進(jìn)英特爾的晶圓廠,就能找到一些答案。
英特爾(Intel)是PC芯片領(lǐng)域的巨頭,也是強(qiáng)大的芯片生產(chǎn)商。目前最先進(jìn)的制程工藝為10nm SuperFin(可以理解為10nm+)。如今,英特爾正試圖恢復(fù)其在芯片制造技術(shù)方面的長期領(lǐng)先地位,押注200億美元,希望能幫助緩解芯片短缺局面。三年時間內(nèi),英特爾將在其位于亞利桑那州錢德勒的芯片制造中心建造兩家工廠,不僅如此,它還有更大規(guī)模的擴(kuò)張計劃,將在俄亥俄州的新奧爾巴尼和德國的馬格德堡建立新工廠。
為了解一顆芯片的誕生過程,讓我們一起走進(jìn)英特爾的晶圓廠去看看。
芯片有什么作用?芯片或集成電路在20世紀(jì)50年代末開始取代體積龐大的單個晶體管。許多這些微小的部件是在一塊硅上生產(chǎn)的,并連接在一起工作。產(chǎn)生的芯片存儲數(shù)據(jù)、放大無線電信號和執(zhí)行其他操作。英特爾以各種微處理器而聞名,它們執(zhí)行計算機(jī)的大部分計算功能。
英特爾晶圓廠內(nèi)部
英特爾公司已經(jīng)成功地將其微處理器上的晶體管縮小到令人難以置信的尺寸。但競爭對手臺積電可以生產(chǎn)更小的元件,沒錯,這也是蘋果13系列采用的A15仿生芯片是由臺積電獨家代工的一個關(guān)鍵原因。A15仿生芯片集成了173億個晶體半導(dǎo)體,采用了較為成熟的最新5nmeuv+工藝。
其中一臺機(jī)器用于在制造芯片時從硅晶片上蝕刻材料?!?
除了建造廠房和購置機(jī)器外,公司還必須花費巨資開發(fā)復(fù)雜的加工步驟,用平板大小的硅片來制造芯片——這就是為什么這些工廠被稱為“晶圓廠”。
巨大的機(jī)器在每個晶圓上設(shè)計芯片,然后沉積和蝕刻材料層來制造晶體管并將它們連接起來。在這些系統(tǒng)中,在自動高架軌道上的特殊吊艙中,一次最多可運送25片晶圓。
加工一塊晶圓需要數(shù)千個步驟,長達(dá)兩個月。近年來,臺積電已經(jīng)為產(chǎn)量設(shè)定了節(jié)奏,運營著擁有四條或四條以上生產(chǎn)線的“千兆工廠”(gigafabs)。市場研究公司TechInsights的副董事長Dan Hutcheson估計,每個工廠每月可以加工10萬片以上的晶圓。他估計,英特爾在亞利桑那州的兩家計劃投資100億美元的工廠每個月的生產(chǎn)能力約為4萬個晶圓。
芯片如何封裝
芯片封裝是芯片成品至關(guān)重要的一步,封裝是為了保護(hù)電路芯片免受周圍環(huán)境的影響,包括來自物理、化學(xué)方面的影響。以引線框架形式封裝為例的完整封裝工程需要經(jīng)歷晶圓減薄-劃片-貼片-銀膠烘烤-等離子清洗-鍵合-塑封-后固化-電鍍-打標(biāo)-切筋成型分離-測試-編帶/裝管/裝盤等多個步驟。
英特爾使用新技術(shù)堆疊芯片,然后進(jìn)行封裝。▲
單個芯片在包裝前存儲在磁帶和卷軸上。▲
芯片將附著在封裝基板上?!?
加工后,晶圓被切成單獨的薄片。這些被測試和包裹在塑料包裝連接到電路板或系統(tǒng)的一部分?!?
這一步已經(jīng)成為一個新的競爭戰(zhàn)場,因為要把晶體管做得更小就更加困難?,F(xiàn)在,各家公司正在將多個芯片堆疊起來,或者將它們并排放置在一個包裝中,將它們連接起來,就像一塊硅片一樣。
如今,將少量芯片封裝在一起已成為一種常規(guī)做法,而英特爾(Intel)已經(jīng)開發(fā)出一種先進(jìn)的產(chǎn)品,利用新技術(shù)將47個獨立芯片捆綁在一起。
是什么讓芯片工廠與眾不同
英特爾員工在俄勒岡州希爾斯伯勒的英特爾園區(qū)的潔凈室內(nèi)等待移動工具零件。▲
工人在潔凈室內(nèi)安裝自動化物料搬運系統(tǒng)?!?
大型管道將氣體從園區(qū)的處理機(jī)器中排出?!?
一塊肉眼看不見的灰塵可以毀掉一個人。因此,晶圓廠必須比醫(yī)院手術(shù)室更清潔,需要復(fù)雜的系統(tǒng)來過濾空氣、調(diào)節(jié)溫度和濕度。此外,晶圓廠還不能受到任何振動的影響,因為這些振動可能導(dǎo)致昂貴設(shè)備發(fā)生故障。因此,完美的潔凈室建在巨大的混凝土板上,安裝在特殊的減震器上。
同樣,移動大量液體和氣體也是一件重要的事。英特爾的頂級工廠大約有70英尺(21米)高,有巨大的風(fēng)扇幫助空氣循環(huán)到正下方的潔凈室。在潔凈室的下面是成千上萬的泵、變壓器、動力柜、公用事業(yè)管道和與生產(chǎn)設(shè)備連接的冷水機(jī)。
晶圓廠對水的需求
晶圓廠是水密集型業(yè)務(wù),這是因為在生產(chǎn)過程的許多階段都需要水來清潔晶圓。
希爾斯伯勒的水處理廠。芯片制造每天需要數(shù)百萬加侖的水?!?
英特爾希爾斯伯勒工廠的一座塔從水中去除氣體。▲
如何建造晶圓廠
希爾斯伯勒的工人搬運建筑材料?!?
Chandler 挖掘的泥土將以每分鐘一輛自卸卡車的速度運走?!?
起重機(jī)在錢德勒工地搬運建筑材料。除其他外,這些起重機(jī)將為新晶圓廠吊裝 55 噸冷水機(jī)?!?
在半導(dǎo)體領(lǐng)域,芯片制造是全球分工合作的產(chǎn)物,沒有哪個國家能獨善其身,比如像手機(jī)和汽車這樣的產(chǎn)品,就需要來自許多供應(yīng)商的零部件。芯片行業(yè)依賴一個復(fù)雜的全球企業(yè)網(wǎng)絡(luò)來提供原材料、生產(chǎn)設(shè)備、設(shè)計軟件、人才和專業(yè)制造。
克洛諾斯是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、集成電路制造裝備領(lǐng)域核心部件的重要供應(yīng)商,產(chǎn)品主要有納米級、微米級直線電機(jī)運動平臺,有多種應(yīng)用于集成電路芯片制造、先進(jìn)封裝、功率器件等關(guān)鍵領(lǐng)域的設(shè)備,為集成電路、晶圓檢測等領(lǐng)域提供了多種解決方案。
在集成電路領(lǐng)域,有PCB板激光直寫平臺等,在晶圓檢測領(lǐng)域,有最新研發(fā)的氣浮平臺,重復(fù)定位精度達(dá)到±50納米,可以依靠精密機(jī)械運作在極短的曝光時間內(nèi)完美定位,快、準(zhǔn)、穩(wěn),完成晶圓在量測端的極精密的檢測。
克洛諾斯PCB板激光直寫平臺
克洛諾斯自研的氣浮平臺
中國在構(gòu)建其半導(dǎo)體制造供應(yīng)鏈方面保持強(qiáng)勁增長。中芯國際和其他中國半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)者則宣布建設(shè)更多的工廠,重點是成熟的技術(shù)節(jié)點。在各方支持下,晶圓制造初創(chuàng)公司在后緣制造領(lǐng)域不斷涌現(xiàn)。