潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
每個(gè)行業(yè)的潔凈車間建造都有各自的標(biāo)準(zhǔn)要求,今天合潔科技電子凈化工程就帶大家一起來了解下半導(dǎo)體潔凈車間的建造標(biāo)準(zhǔn)吧!
半導(dǎo)體潔凈車間是指通過高效過濾、低溫、恒溫控制、高壓等環(huán)境控制技術(shù),將半導(dǎo)體制造設(shè)備和產(chǎn)品放置在一個(gè)極低污染的空氣環(huán)境中的車間。它的主要作用是防止空氣中的微小顆粒、氣體、濕度等污染物和微生物污染,以確保半導(dǎo)體材料、工藝和產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導(dǎo)體潔凈車間的空氣清潔度標(biāo)準(zhǔn)一般是采用ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn),清潔度級(jí)別從Class1到Class9,Class1表示最清潔的環(huán)境,Class9表示最污染的環(huán)境。 根據(jù)不同的要求,可以采用不同的清潔度級(jí)別。
除了空氣清潔度標(biāo)準(zhǔn)外,半導(dǎo)體潔凈車間還有一些特殊的安全要求。 例如,空氣的濕度必須保持在一定的范圍,控制在30-60%RH之間; 溫度必須保持在一定的范圍,控制在18-25度之間; 每小時(shí)流量要求必須大于20m/h。 此外,半導(dǎo)體潔凈車間還要求噪聲小,燈光滿足要求,防靜電措施到位,防塵措施要達(dá)到最低要求等。
總而言之,半導(dǎo)體潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)主要是空氣清潔度標(biāo)準(zhǔn)、濕度、溫度、流量等,以及噪聲、燈光、防靜電、防塵措施等。
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