集成電路芯片工廠對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜。集成電路凈化車間新風(fēng)機(jī)房通常設(shè)置在Fab工廠的屋面，常見的設(shè)置方式有3種方式。

　　(1)第一種方案，將新風(fēng)機(jī)房置于建筑物的長邊末端，這樣可以確保新風(fēng)輸送的距離達(dá)到最長。這種布局特別適用于生產(chǎn)規(guī)模較小、建筑規(guī)模有限的芯片工廠。

　　(2)第二種方案，將新風(fēng)機(jī)房設(shè)置在建筑物的短邊兩側(cè)。每個(gè)機(jī)房負(fù)責(zé)其鄰近區(qū)域的空調(diào)負(fù)荷，從而使得送風(fēng)距離達(dá)到最短。然而，由于空調(diào)機(jī)房的位置高于大屋面，可能會(huì)導(dǎo)致中間屋頂區(qū)域的排水受阻，進(jìn)而產(chǎn)生潛在的漏水問題。此外，機(jī)房較高的位置也會(huì)給外觀設(shè)計(jì)帶來一定的挑戰(zhàn)。

　　(3)第三種方式是，將新風(fēng)機(jī)房置于建筑物的中心位置，經(jīng)過處理的新風(fēng)可以直接輸送到下方的上技術(shù)夾層(即送風(fēng)靜壓箱)。這種中央高、兩側(cè)低的布局不僅有利于屋頂排水的順暢，還能更好地控制墻的高度。

　　許多項(xiàng)目都傾向于選擇第三種方式。但需要注意的是，這種布局方式會(huì)減少下方上技術(shù)夾層(靜壓箱)的高度。為了確?？諝饬鲃?dòng)的穩(wěn)定性和日后的FFU日常維護(hù)，必須保持一定的凈高。根據(jù)合潔科技電子潔凈工程師的建議，最小的凈高應(yīng)為1.5米。