現(xiàn)如今，許多工廠為了能夠把產(chǎn)品的質(zhì)量發(fā)展到最大化，都建造了無(wú)塵車(chē)間來(lái)滿足產(chǎn)品生需求產(chǎn)，但設(shè)計(jì)一個(gè)晶圓無(wú)塵車(chē)間不是簡(jiǎn)單的事情。今天合潔科技電子凈化工程小編就為大家介紹晶圓無(wú)塵車(chē)間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需滿足哪些條件吧!

　　晶圓無(wú)塵車(chē)間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)一般要滿足以下幾方面的條件：

　　1、給予晶圓無(wú)塵車(chē)間足量的潔凈空氣的稀釋、去除在生產(chǎn)時(shí)和人員所污染的空氣，使車(chē)間的塵、菌達(dá)到規(guī)定的要求。

　　2、帶走晶圓無(wú)塵車(chē)間的余熱、余濕，或補(bǔ)給車(chē)間所需的熱量、濕量，以維持晶圓無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)溫度、濕度。這一點(diǎn)和其它空調(diào)系統(tǒng)是一致的，仍然是其主要任務(wù)之一。

　　3、供給晶圓無(wú)塵車(chē)間充足的室外新鮮空氣，使車(chē)間的空氣品質(zhì)，符合人們正常工作所需的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。

　　4、補(bǔ)給足夠量的清潔空氣稀釋車(chē)間的有害物濃度，如工藝過(guò)程中散發(fā)的易燃、易爆有機(jī)溶劑和有害氣體，以確保車(chē)間空氣中的有害物濃度低于相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的最高容許濃度。

　　5、根據(jù)工藝要求，通過(guò)送、回、排風(fēng)量的不同匹配，以維持車(chē)間相對(duì)于室外或鄰室，或走道一定的正壓值或負(fù)壓值。以控制相鄰空間氣流或污染物的流向。

　　6、采取相應(yīng)的隔離、局部排風(fēng)等措施，防止工藝產(chǎn)生的粉塵、大量余熱、余濕等有害物在車(chē)間擴(kuò)散。

　　7、設(shè)置必要的分離、收集裝置，既防止由車(chē)間排出去的有害物質(zhì)污染大氣，又可回收部分排風(fēng)帶走的可利用藥塵。

　　在設(shè)計(jì)晶圓無(wú)塵車(chē)間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)時(shí)，需要綜合考慮以上條件，確保系統(tǒng)能夠有效地滿足晶圓生產(chǎn)的要求，提高生產(chǎn)效率，保障產(chǎn)品質(zhì)量。建議在設(shè)計(jì)階段與專(zhuān)業(yè)的空氣處理工程師或公司合作，以確保系統(tǒng)設(shè)計(jì)符合標(biāo)準(zhǔn)和要求。