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半導(dǎo)體潔凈車(chē)間規(guī)范安裝詳解

2024-05-24
共有1165家企業(yè)看過(guò)

  在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,潔凈車(chē)間的安裝和配置至關(guān)重要,它直接關(guān)系到半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。合潔科技電子凈化工程公司將詳細(xì)解析半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的規(guī)范安裝過(guò)程,包括地面、墻面、天花板、電氣設(shè)備以及空調(diào)新風(fēng)系統(tǒng)等的安裝要點(diǎn),旨在幫助讀者了解并掌握半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的安裝規(guī)范。

  1、確定設(shè)計(jì)方案:根據(jù)車(chē)間的使用需求和潔凈度要求,確定車(chē)間的設(shè)計(jì)方案,包括墻面、天花板、地面、門(mén)窗、空調(diào)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等。

  2、材料采購(gòu):根據(jù)設(shè)計(jì)方案,采購(gòu)符合潔凈度要求的材料。例如,地面材料應(yīng)選用防滑、耐腐蝕、易清潔的材料,如環(huán)氧樹(shù)脂自流平地坪或PVC地坪;天花板材料應(yīng)選用具有防火、防塵、防水、易清潔等特性的材料,如鋁合金板或PVC板;墻面材料應(yīng)選用耐腐蝕、易清潔、無(wú)塵的材料,如彩鋼板或不銹鋼板。

  3、施工準(zhǔn)備:對(duì)車(chē)間進(jìn)行清潔和消毒,準(zhǔn)備施工所需的工具和材料,如切割機(jī)、焊接機(jī)、螺絲刀、螺絲等。

  4、墻面和天花板施工:根據(jù)設(shè)計(jì)方案,對(duì)墻面和天花板進(jìn)行施工,包括切割、焊接、固定等。注意保持施工環(huán)境的清潔,避免灰塵和雜質(zhì)對(duì)車(chē)間潔凈度的影響。


半導(dǎo)體潔凈廠(chǎng)房


  5、地面施工:根據(jù)設(shè)計(jì)方案,對(duì)地面進(jìn)行施工,包括打磨、涂裝、固定等。確保地面的平整度、坡度和防滑性,同時(shí)應(yīng)進(jìn)行防潮處理。

  6、空調(diào)系統(tǒng)和照明系統(tǒng)安裝:根據(jù)設(shè)計(jì)方案,安裝空調(diào)系統(tǒng)和照明系統(tǒng),包括管道、電線(xiàn)、燈具等。注意空調(diào)系統(tǒng)的管道材料應(yīng)選用耐腐蝕、易清潔、無(wú)毒的材料,如不銹鋼或聚丙烯管。照明系統(tǒng)應(yīng)確保光線(xiàn)充足且均勻分布,避免陰影和眩光。

  7、門(mén)窗安裝:根據(jù)設(shè)計(jì)方案,安裝無(wú)塵門(mén)、無(wú)塵窗等特殊設(shè)計(jì)的門(mén)窗。確保門(mén)窗的密封性和氣密性,避免外界空氣和塵埃的進(jìn)入。

  8、電氣設(shè)備安裝:電氣設(shè)備應(yīng)按照設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行安裝,確保其位置、大小和數(shù)量等參數(shù)符合設(shè)計(jì)要求。電纜橋架和電線(xiàn)管路應(yīng)排列整齊,避免交叉和混亂。電氣設(shè)備的外殼應(yīng)接地,以確保使用安全。

  9、消毒設(shè)備和垃圾處理設(shè)備安裝:根據(jù)設(shè)計(jì)方案,安裝紫外線(xiàn)消毒燈、臭氧消毒器等設(shè)備,以及密閉式垃圾桶和專(zhuān)門(mén)的垃圾處理設(shè)備。確保設(shè)備的正常運(yùn)行和定期維護(hù),以保證車(chē)間的潔凈度和衛(wèi)生狀況。

  10、FFU過(guò)濾器安裝:對(duì)于百級(jí)潔凈室等高級(jí)別潔凈區(qū)域,需要安裝FFU過(guò)濾器。從運(yùn)輸包裝箱中小心地取出高效過(guò)濾器,查看在運(yùn)輸過(guò)程中是否有任何部件損壞。取下塑料包裝袋,將FFU和高效過(guò)濾器放置在清潔的房間內(nèi)。然后,把FFU及高效過(guò)濾器安裝在吊頂龍骨上。

  11、空調(diào)控制系統(tǒng)安裝:采用全年自動(dòng)控制系統(tǒng),控制器安裝在車(chē)間內(nèi),可顯示車(chē)間溫度,并可手動(dòng)進(jìn)行控制。確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行和精確控制,以滿(mǎn)足車(chē)間不同區(qū)域的溫度和濕度要求。

  12、新風(fēng)系統(tǒng)安裝:每臺(tái)空氣處理機(jī)組均獨(dú)立設(shè)置新風(fēng)系統(tǒng),新風(fēng)管上安裝風(fēng)量調(diào)節(jié)閥。新風(fēng)經(jīng)過(guò)空氣處理機(jī)組集中制冷,并經(jīng)過(guò)初中高效過(guò)濾器處理后送入半導(dǎo)體芯片凈化車(chē)間內(nèi),確保半導(dǎo)體芯片凈化車(chē)間內(nèi)的新風(fēng)量要求和正壓要求。

  13、隔斷安裝:生產(chǎn)車(chē)間隔斷用50mm厚巖棉彩鋼板,具有美觀(guān)耐腐蝕的特點(diǎn),有良好的隔熱作用。隔斷安裝配件采用陰陽(yáng)三維接點(diǎn)鋁球面,陽(yáng)角處安裝鋁合金角鋁,門(mén)口斷開(kāi)處應(yīng)收口。施工安裝時(shí),應(yīng)先進(jìn)行吊掛,錨固件與建筑主體結(jié)構(gòu)(地面、樓面、天花)的固定。

  在整個(gè)安裝過(guò)程中,需要嚴(yán)格遵守半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的施工標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范,確保每個(gè)環(huán)節(jié)的施工質(zhì)量和潔凈度要求。同時(shí),還需要對(duì)施工現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行分區(qū)管理,確保各個(gè)作業(yè)區(qū)域的獨(dú)立性和安全性。

EPC無(wú)塵凈化工程案例

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