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首頁(yè) 新聞中心 行業(yè)資訊 芯片凈化車(chē)間層流罩氣體流向

芯片凈化車(chē)間層流罩氣體流向

2024-11-12
共有2506家企業(yè)看過(guò)

  芯片凈化車(chē)間的層流罩氣體流向設(shè)計(jì)對(duì)于維持車(chē)間的潔凈度至關(guān)重要。一般來(lái)說(shuō),層流罩內(nèi)的氣體流向應(yīng)遵循以下原則,具體就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下吧!

  一、總體流向

  在芯片凈化車(chē)間中,層流罩的氣體流向通常是從潔凈區(qū)向非潔凈區(qū)流動(dòng),以防止污染物進(jìn)入潔凈區(qū)。這種設(shè)計(jì)可以確保車(chē)間內(nèi)的空氣流動(dòng)穩(wěn)定,且能夠有效地將潔凈空氣送入工作區(qū)域,同時(shí)將污染空氣排出。

  二、單向流潔凈室的氣體流向

  許多芯片凈化車(chē)間采用單向流潔凈室設(shè)計(jì),其層流罩的氣體流向具有以下特點(diǎn):

  1、垂直單向流:在這種設(shè)計(jì)中,氣體以一定的速度(如0.25~0.5m/s)從頂棚流向地坪。這種氣流能夠創(chuàng)造高潔凈級(jí)別(如100級(jí)、10級(jí)、1級(jí)或更高)的工作環(huán)境。氣體在流動(dòng)過(guò)程中,將灰塵和污染物從一端向另一端擠壓出去,實(shí)現(xiàn)潔凈空氣的置換。

  2、水平單向流:氣體以一定的速度(如0.3~0.5m/s)從一面墻流向?qū)γ鎵?。這種設(shè)計(jì)也能達(dá)到較高的潔凈級(jí)別(如100級(jí))。水平單向流的氣體流向同樣遵循從潔凈區(qū)向非潔凈區(qū)流動(dòng)的原則,確保工作區(qū)域的空氣潔凈度。


芯片凈化車(chē)間


  三、氣流組織的優(yōu)化

  為了確保層流罩內(nèi)的氣體流向達(dá)到最佳效果,還需要對(duì)氣流組織進(jìn)行優(yōu)化。這包括合理布置送風(fēng)口和回風(fēng)口,以及確保送風(fēng)口送出的潔凈空氣能夠均勻擴(kuò)散到整個(gè)工作區(qū)域。同時(shí),回風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在能夠有效抽走污染空氣的位置,避免氣流短路和渦流現(xiàn)象的發(fā)生。

  四、注意事項(xiàng)

  1、排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì):排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)負(fù)責(zé)將車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生的廢氣、污染物及多余熱量排出,同時(shí)保持車(chē)間內(nèi)空氣流動(dòng)的穩(wěn)定性和潔凈度。設(shè)計(jì)時(shí)需考慮不同氣體類(lèi)型的處理方式和設(shè)計(jì)策略,如酸性或堿性氣體需設(shè)置濕式洗氣吸收塔等處理裝置;有機(jī)氣體需配備活性炭吸附、催化燃燒等處理設(shè)備;粉塵則需采用高效除塵設(shè)備進(jìn)行過(guò)濾處理。

  2、壓差控制:凈化車(chē)間應(yīng)維持一定的正壓或負(fù)壓,以防止外界污染空氣進(jìn)入或內(nèi)部污染空氣外泄。壓差控制可以通過(guò)調(diào)節(jié)送風(fēng)量、回風(fēng)量、排風(fēng)量和漏風(fēng)量來(lái)實(shí)現(xiàn)。

  3、定期維護(hù):層流罩及其相關(guān)設(shè)備需要定期進(jìn)行清潔和維護(hù),以確保其正常運(yùn)行和達(dá)到預(yù)期的潔凈效果。

  綜上所述,芯片凈化車(chē)間層流罩的氣體流向設(shè)計(jì)應(yīng)遵循從潔凈區(qū)向非潔凈區(qū)流動(dòng)的原則,并通過(guò)優(yōu)化氣流組織、合理設(shè)計(jì)排風(fēng)系統(tǒng)和壓差控制等方式來(lái)確保車(chē)間的潔凈度和空氣流動(dòng)穩(wěn)定性。

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